靶材是制備薄膜的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，目前比較常用的的靶材制備加工方法主要有粉末冶金技術(shù)和傳統(tǒng)的合金冶煉技術(shù)兩種，而我們采用的則是技術(shù)性較強(qiáng)、較新的真空熔煉技術(shù)。

　　鎳鉻靶材的制備就是根據(jù)客戶的不同純度需求，選擇不同純度的金屬鎳和金屬鉻為原料，使用真空感應(yīng)熔煉爐熔煉，熔煉工藝一般為熔煉室室抽真空—氬氣洗爐—抽真空—惰性氣體保護(hù)—熔煉合金化—精煉—澆鑄—冷卻脫模。我們會對澆鑄完成的鑄錠進(jìn)行成分檢測，符合要求的鑄錠就會進(jìn)行下一步加工。

　　再將鎳鉻鑄錠進(jìn)行鍛造、軋制等得到組織更均勻的軋板，然后對軋板按照客戶要求進(jìn)行機(jī)加工，即可得到符合客戶需求的鎳鉻靶材。